質(zhì)量流量控制器輸出的流量檢測(cè)到的電壓與流過(guò)通道的氣體質(zhì)量成正比。滿量程檢測(cè)輸出電壓為5VDC。氣體質(zhì)量流量控制器的檢測(cè)范圍為2一 100%滿刻度(量程比為50: 1)，流量分辨率為0. 1%滿刻度。
      注意氣體質(zhì)量流量控制器的閥控”線置于清洗”位時(shí)也可以當(dāng)成氣體質(zhì)量流量計(jì)使用。這時(shí)，流量檢測(cè)輸出電壓的輸出值可能達(dá)到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過(guò)5VDC，流量檢測(cè)電壓和實(shí)際通過(guò)的流量不成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。清洗時(shí)，流量顯示是不準(zhǔn)確的，而且還可能出現(xiàn)流量增大、顯示減小的現(xiàn)象，但這些不會(huì)損壞質(zhì)量流量控制器。
      PID控制電路就構(gòu)成了流量質(zhì)量控制器。氣體質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器
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