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電子級硫酸的化工原料檢測標準-化浪

放大字體  縮小字體 發布日期:2021-09-14 15:39:07  瀏覽次數:138
核心提示:我們都知道,我國的半導體和芯片行業一直受到美國的壓制。電子級硫酸在芯片制造工藝中是用量z大的電子化學品,在大規模集成電路、LED顯示器、平板顯示器等電子工業中有著大量的應用。因此電子級

我們都知道,我國的半導體和芯片行業一直受到美國的壓制。電子級硫酸在芯片制造工藝中是用量z大的電子化學品,在大規模集成電路、LED顯示器、平板顯示器等電子工業中有著大量的應用。因此電子級硫酸也屬于需要突破的“卡脖子”產品中的一員。我國之前電子級硫酸完全依賴與巴斯夫等外企的進口,電子級硫酸的要求比普通硫酸的要求高很多,它的金屬離子必須達到PPT級別,對雜質含量、純度要求極高,國內企業多是以工業硫酸生產為主。

化工原料檢測-電子級硫酸

經過幾年的研究,我國電子級硫酸的品質已經達到了國內領先、世界一流的水平。作為集成電路制造業、封裝測試業以及整機裝配業原料供應的上游行業,高規格的電子級硫酸自然供不應求,但是想要搶占國內外市場,就必須以標準為導向,建立起完善的規則制度。因此我們就來給大家介紹一下電子級硫酸的化工原料檢測標準。

 

為了技能滿足國內生產企業及使用企業的生產、使用需求,可以將電子級硫酸產品按純度劃分為五個等級,分別為EL、VL、UL、SL和XL。在具體的指標上,對硫酸含量、外觀、色度、不同粒徑顆粒的個數、氯化物、硝酸鹽、磷酸鹽、銨鹽、還原高錳酸鉀物質及金屬雜質等共 35 個項目有具體的要求。

化工原料檢測-電子級硫酸

一般來說,如果電子級硫酸用于電子硅晶片的制造過程,則需要對其中的金屬和非金屬雜質陽離子進行嚴格的控制,在進行化工原料檢測時要尤為注意。因為硅圓片上存在的不溶性固體顆?;蚪饘匐x子可能導致電路之間導電,引起短路。如果是鈉、鈣等堿金屬雜質會融進氧化膜中,導致耐絕緣電壓下降,當硅圓片表面附著有銅、鐵、鉻、銀等重金屬雜質時,會使P-N結耐電壓降低,影響大規模集成電路電性能,硼、磷、砷等雜質離子會影響擴散劑的擴散效果,塵埃顆粒會造成光刻缺陷,氧化層不平整,影響制版質量和等離子蝕刻工藝。因此,新標準對各種金屬和非金屬雜質陽離子質量分數都做了明確要求。

 

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關鍵詞: 化工原料檢測 化工
 
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