設(shè)備二維材料制備CVD系統(tǒng)特點(diǎn)：此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器，輔助二維材料蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)管式爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便。并配質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量，對(duì)于做低壓CVD實(shí)驗(yàn)非常實(shí)用，重復(fù)性好。
二維材料制備CVD系統(tǒng)
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硫粉預(yù)熱器 |
工作溫度：400℃ z高溫度：1200℃ z快升溫速率：≤30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
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加熱區(qū)參數(shù)
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額定功率：5kw z高溫度：1200℃ 工作溫度：1100℃ z大升降溫速率：≤30℃/min 爐管尺寸：高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100x1650mm (管徑可選) 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200+200mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：290mm 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來石管堵2對(duì)，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 尺寸：約 550×380×600 mm（爐子） 約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌） 可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。 |
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